[实用新型]一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置有效
| 申请号： | 201921502550.8 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN211311574U | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李醒飞;杨安琪;夏赣民 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 刘子文 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置，旋转装置安装于磁控溅射镀膜机的真空室内，磁控溅射镀膜机的真空室内设有外圆盘和旋转圆盘；外圆盘上设置有外盘支架，旋转圆盘上设有轴盘连接件；旋转装置包括相啮合的第一伞形齿轮和第二伞形齿轮；第一伞形齿轮和第二伞形齿轮分别设有台阶，第一伞形齿轮的连接轴的一端和第二伞形齿轮的连接轴的一端相互垂直连接形成有L形轴，第一伞形齿轮的连接轴的另一端与所述轴盘连接件连接，第一伞形齿轮的台阶与外盘支架连接；第二伞形齿轮的台阶通过螺柱连接有被镀件辅件，被镀件辅件上依次套接有第一弹性挡圈、空心圆柱形被镀件和第二弹性挡圈。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空心 圆柱形 被镀件 外表 镀膜 旋转 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921502550.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种温控设备
- 下一篇：一种多腔室防泄漏的HDPE沼气管结构
- 同类专利
- 专利分类
