[实用新型]一种含甲烷、碳氢化合物的氩尾气回收提纯装置

摘要

本实用新型涉及一种含甲烷、碳氢化合物的氩尾气回收提纯装置，用于回收处理含杂质甲烷、碳氢化合物、CO、H2、N2的氩尾气，含甲烷、碳氢化合物的氩尾气回收提纯装置与用于净化氩尾气并输出净化后的原料气的前端净化系统相连接，含甲烷、碳氢化合物的氩尾气回收提纯装置包括：用于去除净化后的原料气中的甲烷、碳氢化合物并输出待精馏的粗氩气的脱甲烷和碳氢化合物系统；用于精馏待精馏的粗氩气而得到产品氩气的精馏系统；用于为精馏系统提供热源和冷源、为前端净化系统提供再生气的气体循环系统。本实用新型能够实现安全、高效的有油氩尾气回收，从而避免氩组分浪费。