[实用新型]用于光罩检测的辅助载板有效
| 申请号： | 201921456616.4 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN211043166U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 杜武兵;司继伟;刘猛 | 申请（专利权）人： | 深圳市路维光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 黄莉 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种用于光罩检测的辅助载板，所述辅助载板上开设有用于容置待检测光罩的容纳槽，容纳槽的内侧壁的预定位置朝容纳槽的中部延伸预定长度而形成有至少两根承载条，每根承载条上设置有至少两级自承载条的自由端向承载条的根部逐级升高的定位台阶，每一级定位台阶均包括一个承载面和两个相互正交且均垂直于承载面的定位面，分属于不同承载条上的同一级的定位台阶共同配合形成一个定位结构，同一个定位结构的各承载面位于同一平面上且各定位面分别对应位于一个长方体的四个侧面上，每一个定位结构的定位台阶的高度均小于或等于相适配尺寸规格的待检测光罩的厚度。本实施例方便厚度较小的光罩检测，避免检测时显微镜的镜头被撞坏。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 辅助 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市路维光电股份有限公司，未经深圳市路维光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201921456616.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种螺丝扣套
- 下一篇：一种公交客流统计装置、智能摄像机及智能分析设备
