[实用新型]一种动态配气设备有效
| 申请号： | 201921428608.9 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN211753993U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 耿彦红;徐春;董亮华;王瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州市计量测试院 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 215128 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气体供给技术领域，具体是一种动态配气设备，包括：控制器、气源系统、配气系统和尾气处理系统；尾气处理系统包括第一容器和真空发生器，真空发生器与控制器连接；气源系统包括第一管路、第二管路、第三管路和管路通断组件，管路通断组件与控制器连接，用于控制管路的通断；配气系统包括第一配气模块，第一配气模块包括第一支路、第二支路、第三支路和支路通断组件，支路通断组件与控制器连接，用于控制所述支路的通断；第一支路分别与第一管路和第一容器连通；第三支路分别与第三管路和真空发生器连通；第二支路与第二管路连通后能够导出气体；本实用新型在配气结束后能够处理配气系统内的气体，减少前次配气对后次配气的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 设备 | ||
【主权项】：
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