[实用新型]一种排湿装置、空调设备及光刻机有效
| 申请号： | 201921423086.3 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN210441340U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 吴天祺;陆捷 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F24F1/0083 | 分类号： | F24F1/0083;F24F13/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种排湿装置、空调设备及光刻机，所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，所述排湿装置控制进入所述空调设备的空气的第一湿度，所述空调设备控制进入所述光刻机的空气的第二湿度。本实用新型提供的所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，无需改变现有空调设备的结构，结构简单，成本低廉；而且易于操作实施，本实用新型提供的空调设备，能够控制进入光刻机的空气的湿度，开关空调设备能够保证光刻机内部的湿度维持恒定，使得空气湿度维持恒定，不存在跳变的情况，对所述光刻机内部部件起到保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 空调设备 光刻 | ||
【主权项】：
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