[实用新型]一种单晶炉热场冷却装置有效
申请号: | 201921411027.4 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN210657215U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 文勇;孟涛;王海庆;姚亮 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 石艳红 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉热场冷却装置,包括横向保温支撑环和至少两个冷却升降装置,每个冷却升降装置均包括托板、支撑连杆、波纹软管和升降底座;横向保温支撑环设在中部碳基保温筒和下部碳基保温筒之间,并与中部保温支撑筒底部相连;托板一端与横向保温支撑环相连,另一端与支撑连杆的顶端相连;支撑连杆位于碳基保温筒和炉筒之间的真空腔体内,另一端从炉底板中穿出,并与升降底座相连;波纹软管套装在支撑连杆外周;波纹软管内呈真空状态;波纹软管的长度能够伸缩,升降底座的高度能够升降。本申请能将热场的冷却时间缩短50%以上,并且拆炉时热场温度能控制在100‑200℃,减弱热场氧化,提高石墨件使用寿命,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉热场 冷却 装置 | ||
【主权项】:
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