[实用新型]一种全自动光刻胶灌装装置有效
| 申请号： | 201921368644.0 | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210620222U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 周国波;陈武档;赖艺珠;梁荣增;宋里千 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/30 | 分类号： | B67C3/30 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 363000 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种全自动光刻胶灌装装置，包括架体、灌胶盒、灌胶口、胶桶、导胶盒、第一动力室及第二动力室，所述架体上端固定设有灌胶盒，灌胶盒下端固定设有导胶盒，灌胶盒前端设有灌胶口，灌胶盒后端设有第一动力室，第一动力室上端设有第二动力室，所述架体用于支撑灌胶盒、第一动力室及第二动力室，所述灌胶盒用于将光刻胶吸出并通过灌胶口送出，导胶盒用于与胶桶连接，第一动力室用于将光刻胶从胶桶吸出并从灌胶口送出，第二动力室用于封闭灌胶盒与导胶盒内部，该装置使用方便，适合流水线工作，同时不会造成资源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 光刻 灌装 装置 | ||
【主权项】：
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