[实用新型]一种高纯气体充装系统有效
| 申请号： | 201921365461.3 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN210662295U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李贤武;王娟;弋明涛;张绪锐;王淑芳;徐朝莉 | 申请（专利权）人： | 洛阳黎明大成氟化工有限公司;黎明化工研究设计院有限责任公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C7/04;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471012 河南省洛阳市吉利区吉利科*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种高纯气体充装系统，包括物料储罐部分、液泵部分、充装部分、PLC控制系统四个部分，物料储罐部分包括高纯气体储罐(1)、低压汽化器(2)；液泵部分包括液泵(3)和高压汽化器(4)；充装部分包括充装面板(5)、电子秤(6)和包装容器(20)，充装面板(5)上布置有过滤器(19)和隔膜阀V12，过滤器(19)和隔膜阀V12之间的管线上布置有氦气管(7)、真空管(9)、回收管(8)、分析管(10)、面板压力传感器(13)和真空计(14)；PLC控制系统包括液泵控制柜(15)、充装控制柜(16)。该高纯气体充装系统可以手动操作，也可实现自动充装。包装容器可以一支或多支如钢瓶或槽车的充装，过程高效、快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 气体 系统 | ||
【主权项】：
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