[实用新型]晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置有效
| 申请号： | 201921349072.1 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN210650183U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张启兴 | 申请（专利权）人： | 浙江晶特光学科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王秋月 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置，涉及晶圆固定装置的技术领域，本实用新型提供的晶圆吸盘具有吸附端面；吸附端面凹陷形成镂空部和第一负压槽，镂空部与第一负压槽间隔设置；晶圆吸盘设有第一流体通道，且第一流体通道与第一负压槽流体连通；本实用新型提供的晶圆吸盘缓解了现有技术中晶圆吸盘对晶圆造成磨损的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 晶圆精雕 固定 装置 | ||
【主权项】：
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