[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 201921341857.4 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN210757119U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 黄重育;黄凯斌;谈文毅 | 申请（专利权）人： | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B41/00;B24B41/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种研磨装置，包括平台、研磨头以及盖层。该平台承载一工件，该工件具有一研磨面直接接触该平台。该盖层则环绕于该研磨头的外侧，其中，该盖层对位于该工件外侧的侧缘，且该盖层的尺寸大于该研磨头的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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