[实用新型]一种光刻胶软烘干机构

摘要

本实用新型公开了一种光刻胶软烘干机构，包括进给部、干燥部和温变部，所述进给部包括传输机，所述传输机的传输带表面沿进给方向均匀布置安装孔，所述传输机的传输带上方设置干燥部，所述干燥部包括下端开口的壳体，所述传输带穿过壳体内部，且壳体的两侧分别设置通气孔，两侧的通气孔之间设置连通的风管，所述风管处于壳体外部，且风管内部串接干燥盒，本光刻胶软烘干机构采用循环的传输机进行晶片的取放，降低对加工区域温度的影响，同时，采用热板加热的方式，避免光刻胶表层首先凝固造成的内部挥发不完全的问题，同时采用可升降的热板结构，实现热板与晶片距离可调，实现接近式烘焙，避免晶片爆裂。