[实用新型]一种在氩气环境中的在线氧含量监测系统有效
申请号: | 201921322998.1 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN210626430U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 刘双林 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00;G05D7/03;B22F9/02 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 刘乾帮 |
地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种在氩气环境中的在线氧含量监测系统,属于一种钛粉的生产设备;其技术方案要点是包括设于手套箱上的氩气进气系统以及排气氧含量检测系统;氩气进气系统包括依次连接的减压阀、氩气浮子流量计以及第一常开电磁阀,减压阀上连接可供氩气进入的进气管,第一常开电磁阀和手套箱连接;排气氧含量检测系统包括依次连接的排气管以及氧分析仪,排气管和手套箱固定连接。本实用新型解决了常见的装置不容易监控手套箱内部氧含量的问题,达到了能够实时监测氧含量,保证工艺在低氧环境下进行的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 环境 中的 在线 含量 监测 系统 | ||
【主权项】:
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