[实用新型]一种集成电路无尘车间机台载重基座有效
申请号: | 201921299412.4 | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN210319096U | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 商富祥;商富彬 | 申请(专利权)人: | 江苏瑞鑫集成电路设备有限公司 |
主分类号: | F16M5/00 | 分类号: | F16M5/00 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 毛洪梅 |
地址: | 224000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种集成电路无尘车间机台载重基座,包括横梁式支撑脚,横梁式支撑脚上设有钢构地板,钢构地板和横梁式支撑脚通过固定螺栓连接,钢构地板上设有螺纹孔,螺纹孔两排为一组,螺纹孔横向设有如干组,每组螺纹孔之间设有间距,钢构地板上设有支撑板,支撑板上设有水泥板,本实用进过多层减震结构,能够有效的减少外界对机台的影响,同时也能保证机台稳定的运行。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 无尘车间 机台 载重 基座 | ||
【主权项】:
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