[实用新型]热交换器有效
| 申请号： | 201921223983.X | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210952437U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 诺吉·A·贾金德拉;阿鲁尔·瓦桑·萨布拉曼尼亚 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F28D7/08 | 分类号： | F28D7/08;F28F21/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文描述的实施方式涉及用于消除半导体工艺中产生的化合物的热交换器。当热流出物流动至热交换器中时，可使冷却剂流动至热交换器之内的热交换表面的壁。热交换表面可以是产生多级交叉流动路径的弯曲形状，以便热流出物从热交换器流下。此流动路径迫使热流出物撞击热交换表面的冷壁，从而显著冷却流出物并且防止流出物直接流入真空泵中并造成热损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 热交换器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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