[实用新型]一种载板清废装置有效
申请号: | 201921162409.8 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN210632573U | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;刘三利;祝志强 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04;B08B13/00 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 郭磊 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种载板清废装置,该载板清废装置包括条形板和吸尘器,条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽,吸槽内设有连接孔,连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁,吸尘器的吸尘管与连接孔连接,条形板可置于载板上,并在吸槽内形成负压。本实用新型的载板清废装置通过设置条形板,在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽,在吸槽内设置连接孔,连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁,将吸尘器的吸尘管与连接孔连接,只需将条形板置于载板上,吸尘器即可在吸槽内形成负压,对载板上的碎硅片进行清理。 | ||
搜索关键词: | 一种 载板清废 装置 | ||
【主权项】:
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