[实用新型]一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置有效
| 申请号： | 201921083075.5 | 申请日： | 2019-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN209537616U | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 石建华;谢毅;孟凡英;刘正新 | 申请（专利权）人： | 中威新能源（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 何悦 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，涉及太阳能电池制造技术领域，包括真空室，所述真空室内设置有机械输送装置，所述机械输送装置的上方设置有阴极结构，所述阴极结构包括阴极装置，所述阴极装置垂直于所述机械输送装置的传输方向设置，所述阴极装置的两侧分别设置有两套独立控制的工艺气体控制系统。该镀膜装置改变了传统的镀膜工艺，可实现同靶材同设备条件下差异化镀膜设计，提高SHJ太阳电池的光电转化效率，其成本低、稳定性高，与现有镀膜技术兼容，具有广泛的应用前景和经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 机械输送装置 镀膜装置 阴极装置 阴极结构 导电膜 光电转化效率 本实用新型 太阳能电池 传输方向 独立控制 镀膜工艺 镀膜技术 工艺气体 控制系统 设备条件 差异化 传统的 真空室 靶材 镀膜 两套 兼容 垂直 室内 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置，其特征在于，包括真空室（301），所述真空室（301）内设置有机械输送装置（306），所述机械输送装置（306）的上方设置有阴极结构，所述阴极结构包括阴极装置（210），所述阴极装置（210）垂直于所述机械输送装置（306）的传输方向设置，所述阴极装置（210）的两侧分别设置有两套独立控制的工艺气体控制系统。
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