[实用新型]一种石英管真空封口设备及其同心卡盘

摘要

本实用新型涉及一种石英管真空封口设备及其同心卡盘，同心卡盘包括包括用于固定连接于支撑板上的固定环板，固定环板外周同心转动安装有转动环板，该同心卡盘还包括连接于固定环板上的环形安装板，环形安装板上沿周向间隔设置有三个以上的拐臂，各拐臂远离铰接端的端部均设置有压紧轮，该同心卡盘还包括设置于转动环板上的以带动各拐臂同步动作的传动结构，该同心卡盘还包括对各拐臂摆动至相应位置使其固定保持的固定结构。通过传动结构可以同步带动拐臂绕各自的铰接点摆动，以使各拐臂上的压紧轮同步靠近石英管或同步远离石英管，并通过固定结构固定，可以适应不同直径的石英管且能够快速支撑并轴向限位，避免了石英管在转动时发生摆动，保证石英管具有较高的封口质量。