[实用新型]抛光装置有效
| 申请号： | 201921031959.6 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN210452257U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李亮亮 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B47/20;B24B41/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 魏雪梅 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体抛光技术领域，提供一种抛光装置，包括机架和升降板，所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨，两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直，所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接，所述升降板的另相对两侧分别与两个所述导轨连接，所述升降板上设有抛光件。通过在机架上设置两根丝杠和两个导轨，丝杠为升降板提供升降作用，导轨为升降板提供支撑导向作用，提高抛光件的承载强度和升降的安全性、平稳性，实现抛光件可高速旋转状态下的平稳，提高抛光效率，缩短工艺时间，提高抛光质量和产能。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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