[实用新型]一种辅助工装

摘要

本实用新型公开了一种辅助工装，包括用于容纳晶圆盒的壳体，该壳体上设置有物料进口，该物料进口处壳体内壁两侧分别设置有物料导向结构，各物料导向结构均包括多条并行设置的导向轨道，任相邻两导向轨道的长度不同，并且各导向轨道的端部均伸出壳体。本实用新型使用时，晶圆盒嵌入壳体后，设置晶圆盒的物料进口与壳体上的物料进口相对。因导向轨道在壳体的外侧形成了长短分区，使操作员可根据下一工序所需，排列设置物料，从而节省了重新梳理所需的时间。同时在导向轨道的导向下，物料可被快速、准确放置到位，不会发生两片物料摩擦的情况，保证直通率。因此本实用新型可使物料按照所需方式规则放置，无需重新梳理，提高了效率。