[实用新型]精密外转子气浮主轴有效
| 申请号： | 201920952398.7 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN210115464U | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 田硕 | 申请（专利权）人： | 深圳市华腾半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B23B19/02 | 分类号： | B23B19/02 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 王翀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种精密外转子气浮主轴，本实用新型转动的芯轴位于气浮轴承的外侧，芯轴旋转与空气摩擦产生的热比较容易排出，不需要专门设置散热结构；径向轴承采用小孔节流，轴向轴承采用多孔质，这样保证气浮主轴在磨削时径向具有比较大的承载力，轴向具有比较高的刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 外转 子气浮 主轴 | ||
【主权项】：
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