[实用新型]一种用于ITO靶材清洗烘干装置有效
| 申请号： | 201920951199.4 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN210754111U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 柯尚文;周传水;李隽;余永强;康明锋;董永亮;范家伟 | 申请（专利权）人： | 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;F26B9/06;F26B23/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 左恒峰 |
| 地址： | 528137 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于ITO靶材清洗烘干装置，本清洗烘干装置使用时，将载有ITO靶材的架子放置于水槽中，通过纯水水喉将纯水通入水槽内，启动超声振子开始清洗，清洗完成后，通过排水管将水槽内的水排尽，开启电阻加热棒进行烘干；使ITO靶材一次完成清洗烘干，消除ITO靶材在清洗干燥过程中因转移碰撞造成的残次品；省去数个水槽，缩小设备占用空间，节省设备成本，简化工艺流程，提高效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 ito 清洗 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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