[实用新型]一种真空转移台用悬臂装置

摘要

本实用新型是一种真空转移台用悬臂装置，包括机架，机架的顶面设置有机架平台，机架平台的上表面固定安装有烘箱底部隔板和烘箱罩，烘箱罩的顶部与水平悬臂一端的下表面固定连接，水平悬臂另一端与固定套筒固定连接，固定套筒与主轴顶部传动连接，主轴穿过缸套，缸套穿过机架平台，缸套与机架平台固定连接，主轴的底端与垂向往复运动驱动装置传动连接；垂向往复运动驱动装置用于带动主轴沿轴向运动；缸套两端设置有高温防卡死机构，所述的高温防卡死机构用于保证主轴和缸套之间的滑动配合在高温环境内不会失效。该种悬臂装置能够在高温环境下保证形变可控，保证悬臂机构升降的过程滑动顺利。