[实用新型]单晶炉底部断热材有效

专利信息
申请号: 201920917342.8 申请日: 2019-06-18
公开(公告)号: CN210177002U 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 李小红;李磊;王忠保;闫龙;赵延祥;小暮康弘;王黎光;徐庆晧 申请(专利权)人: 宁夏银和半导体科技有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 孙彦虎
地址: 750021 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 实用新型公开了一种单晶炉底部断热材,属于单晶硅生产设备技术领域。包括断热材本体及设置于所述断热材本体上的若干防护套,所述防护套可拆卸安装于所述断热材本体上。本实用新型技术方案改变传统单晶炉底部断热材的一体式设计,通过将所述防护套可拆卸连接于所述断热材本体上,一方面,在将所述单晶炉底部断热材安装于单晶炉底座上时,安装准确快捷,操作友好。另一方面,在进行清扫时,减少清扫过程中对所述防护套的碰撞,减少所述防护套的损坏率,延长设备的使用寿命。再一方面,当所述防护套被损坏后,可仅仅对所述防护套进行更换,从而极大的降低了生产成本。
搜索关键词: 单晶炉 底部 断热材
【主权项】:
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