[实用新型]一种单晶炉排气管道及单晶炉有效
| 申请号： | 201920774843.5 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN211522363U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 陈海云 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种单晶炉排气管道和单晶炉，所述排气管道的内壁至少部分设置有隔热体，所述隔热体的导热系数小于所述排气管道的导热系数。在本实用新型实施例中，通过在排气管道的内壁设置导热系数小于排气管道的导热系数的隔热体，可以减小排气管道内外壁温差，可以防止氧化硅微粉急剧冷却积聚造成堵塞，延长温度降低的时间，让氧化硅微粉缓慢冷却，使氧化硅微粉随着氩气排出，增设隔热体的手段既能避免排气管道堵塞，提升排气效率，可以保证单晶硅产品质量，并且其改造成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 排气 管道 | ||
【主权项】：
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