[实用新型]一种新型高温电阻加热的HVPE加热器有效
| 申请号： | 201920715002.7 | 申请日： | 2019-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN210075613U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛华旗科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种新型高温电阻加热的HVPE加热器，包括上机柜、中机柜、下机柜以及真空加热腔体，所述真空加热腔体安装在中机柜内，所述真空加热腔体下端面安装腔体下盖，所述腔体下盖下端面安装下升降机构，所述下升降机构安装在下机柜内，所述腔体下盖上端面安装高温加热器一，所述高温加热器一内安装源坩埚，所述真空加热腔体上端面安装腔体上盖，且真空加热腔体内部上侧安装高温加热器二，所述腔体上盖上端面安装上升降机构，所述上升降机构安装在上机柜内，所述腔体上盖上端面安装内衬管，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：提高化合物半导体如GaN或AlN等的工艺研发的温度范围，降低了研发及生产的局限性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空加热 腔体 高温加热器 上端面 上盖 本实用新型 上升降机构 安装腔体 腔体下盖 升降机构 上机柜 下端面 下机柜 机柜 研发 化合物半导体 加热器 腔体上端面 电阻加热 腔体内部 新型高温 安装源 内衬管 下盖 坩埚 生产 | ||
【主权项】：
1.一种新型高温电阻加热的HVPE加热器，包括上机柜、中机柜、下机柜以及真空加热腔体，其特征在于：所述中机柜安装在下机柜上端面，所述上机柜安装在中机柜上端面，所述真空加热腔体安装在中机柜内，所述真空加热腔体下端面安装腔体下盖，所述腔体下盖下端面安装下升降机构，所述下升降机构安装在下机柜内，所述腔体下盖上端面安装高温加热器一，所述高温加热器一内安装源坩埚，所述下机柜右侧设置供气系统，所述供气系统通过软管连接腔体下盖，所述真空加热腔体上端面安装腔体上盖，且真空加热腔体内部上侧安装高温加热器二，所述腔体上盖上端面安装上升降机构，所述上升降机构安装在上机柜内，所述腔体上盖上端面安装内衬管，所述内衬管下端延伸至高温加热器二内，所述上机柜内安装载板，所述载板上端面开设螺纹孔，所述螺纹孔内啮合螺纹杆，所述螺纹杆下端延伸至内衬管内并安装衬底，所述下机柜左侧设置真空系统，所述真空系统通过真空管道与腔体上盖相连接。/n
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