[实用新型]适于真空室的真空气路结构有效
| 申请号： | 201920696089.8 | 申请日： | 2019-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN209626180U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 宋家玉;蔡克亚;刘伟伟;李康康;张子奇;王晓龙;刘文钊;易玲;李闯 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 韩鹏程 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了适于真空室的真空气路结构，包括分子泵和阀体组件，分子泵的出气口与前级泵的三通管第一管口相连通，阀体组件包括阀体，阀体上开设有主通道，阀体底部设置有低真空规；阀体上部水平开设有进出气通道；阀体的左右两侧交错设置有第一、第二真空电磁阀，阀体上水平设置有进气通道和抽真空通道，抽真空通道出气口的快插接头与三通管第二管口连通。本实用新型结构简单紧凑，将进气通道和抽真空通道集成在阀体组件上，不仅能够快速实现过渡腔室与外界空气连通，使外界气体进入过渡腔室减小负压；还能快速将过渡腔室内的气体抽走，保证真空室的高真空度，满足样品检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 阀体 抽真空通道 阀体组件 真空室 本实用新型 过渡腔室 进气通道 真空气路 出气口 分子泵 三通管 外界空气连通 进出气通道 真空电磁阀 阀体上部 高真空度 交错设置 快插接头 水平开设 水平设置 外界气体 样品检测 左右两侧 低真空 第二管 过渡腔 口连通 前级泵 负压 管口 减小 紧凑 室内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种适于真空室的真空气路结构，包括连通设置在真空室（1）侧壁上的分子泵（2）和阀体组件，所述分子泵（2）的出气口与前级泵（3）的三通管第一管口相连通，所述阀体组件（4）的抽气出口通过管路（5）与所述三通管第二管口相连通，其特征在于：所述阀体组件（4）包括固连在所述真空室（1）侧壁上的阀体（4.1），所述阀体（4.1）上开设有自其顶部向下延伸的主通道（4.2），阀体（4.1）底部设置有用于检测所述主通道（4.2）内真空度的低真空规（4.3）；阀体（4.1）上部水平开设有用于连通过渡腔室和所述主通道（4.2）的进出气通道（4.4）；所述阀体（4.1）的左右两侧交错设置有第一真空电磁阀（4.5）和第二真空电磁阀（4.6），与所述第二真空电磁阀（4.6）对应处的阀体（4.1）上水平设置有用于连通主通道（4.2）和所述第二真空电磁阀（4.6）的进气通道（4.7），与所述第一真空电磁阀（4.5）对应处的阀体（4.1）上水平开设有用于连通主通道（4.2）和所述第一真空电磁阀（4.5）的抽真空通道（4.8），在所述抽真空通道（4.8）出气口处设置有快插接头（4.9），所述管路（5）插装在所述快插接头（4.9）上。
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