[实用新型]一种低摩擦阻力旋转涂层载盘有效
| 申请号： | 201920662848.9 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN210176946U | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海;祖全先 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 徐典 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，包括：承载组件，包括分别上下布置的上承载盘、下承载盘，上承载盘、下承载盘各自呈水平布置；转动组件：包括设置在上承载盘、下承载盘之间的棘轮，棘轮通过同心的转轴垂直连接上承载盘、下承载盘，在棘轮与下承载盘之间安装石墨垫圈，石墨垫圈套在转轴上，棘轮由拨叉拨动实现绕自身轴线的转动；同一个转轴上穿套的石墨垫圈至少为两个，相邻的石墨垫圈之间还接触有铜垫圈，棘轮与上承载盘之间均在间隙。采用此实用新型降低转轴和下承载盘间的摩擦系数，使旋转过程顺畅，不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘，产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。铜垫圈可以作为支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摩擦阻力 旋转 涂层 | ||
【主权项】：
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