[实用新型]一种LED晶片自动分选机用硅片工作台有效
申请号: | 201920631129.0 | 申请日: | 2019-05-06 |
公开(公告)号: | CN210022871U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 陈国强;董月宁;代立民 | 申请(专利权)人: | 山东泓瑞光电科技有限公司 |
主分类号: | B07C5/00 | 分类号: | B07C5/00;B25H1/00 |
代理公司: | 37302 潍坊德信中恒知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 尉金洪 |
地址: | 261061 山东省潍坊市高新区新城*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种LED晶片自动分选机用硅片工作台,包括X轴工作台,X轴工作台上设置有X轴导轨,X轴导轨设置有可沿X轴导轨滑动X轴导轨滑块;还包括Y轴工作台,Y轴工作台设置在X轴工作台的上方,Y轴工作台可与X轴工作台相对滑动,Y轴工作台固定连接有导轨滑块,通过X轴导轨滑块将Y轴工作台与X轴工作台连接;顶端工作台沿X和Y方向滑移的精度0.005mm以内,由于采用直线电机,反应速度在100毫秒以内,可靠性得到非常有效的控制,满足了晶片分选的速度要求。 | ||
搜索关键词: | 滑块 本实用新型 硅片工作台 自动分选机 导轨滑块 晶片分选 速度要求 相对滑动 直线电机 滑动 工作台 滑移 | ||
【主权项】:
1.一种LED晶片自动分选机用硅片工作台,包括X轴工作台(1),其特征在于:X轴工作台(1)上设置有 X轴导轨(7),X轴导轨(7)设置有可沿X轴导轨(7)滑动的X轴导轨滑块(2);/n还包括Y轴工作台(3),Y轴工作台(3)设置在X轴工作台(1)的上方,Y轴工作台(3)可与X轴工作台(1)相对滑动,Y轴工作台(3)固定连接有导轨滑块(6),通过X轴导轨滑块(2)将Y轴工作台(3)与X轴工作台(1)连接;/nY轴工作台(3)上设置有 Y轴导轨(5),Y轴导轨(5)紧固在Y轴工作台(3)上,通过导轨滑块(6)将顶端工作台(9)与Y轴工作台(3)连接。/n
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