[实用新型]一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置有效
| 申请号： | 201920606155.8 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN209820640U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈建标;丁飞;贾云波;吕帮贵;李建立 | 申请（专利权）人： | 江阴新顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14;G01K7/02;G05B19/05 |
| 代理公司： | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人： | 赵海波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，属于芯片制造技术领域。包括工作台、固定架、输送机构、profile热电偶和温度表，所述固定架固定于工作台上，所述输送机构固定于固定架上，所述profile热电偶设于输送机构上，输送机构将profile热电偶输送至扩散炉内，所述固定架上固定有支座，所述温度表设于支座上，所述温度表与profile热电偶电性连接，所述工作台底部固定设有万向轮。本申请不仅能够自动检测扩散炉恒温区温度，提高了检测的准确性和效率，保证扩散炉恒温区温度分布均匀，提高产品的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 输送机构 固定架 热电偶 温度表 扩散炉恒温 工作台 温度分布均匀 温度检测装置 芯片制造技术 本实用新型 卧式扩散炉 电性连接 自动检测 恒温区 扩散炉 万向轮 检测 申请 保证 | ||
【主权项】：
1.一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，其特征在于：包括工作台、固定架、输送机构、profile热电偶和温度表，所述固定架固定于工作台上，所述输送机构固定于固定架上，所述profile热电偶设于输送机构上，输送机构将profile热电偶输送至扩散炉内，所述固定架上固定有支座，所述温度表设于支座上，所述温度表与profile热电偶电性连接，所述工作台底部固定设有万向轮。/n
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