[实用新型]一种真空镀膜机的真空填充系统有效
| 申请号： | 201920575758.6 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN209816270U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 郑潜武 | 申请（专利权）人： | 珠海众睿诚科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 11212 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人： | 谈杰 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市高新区唐家*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空填充系统，包括真空腔体，所述真空腔体顶部设置有进气管，进气管一端用于充入空气，进气管另一端延伸至真空腔体内部，所述进气管另一端连接有螺旋状泄气管，该螺旋状泄气管上均匀排列有若干个出气口，螺旋状泄气管由于其自身的形状结构，能够对进入的高速气体进行引流缓冲，吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在真空腔体内的扩散方式，充入气体经由螺旋状泄气管上分布的出气口，气体能够平缓均匀分散地从真空腔体顶部填充入底部，减缓了充气系统的气体冲击性，避免了在真空腔体内形成回流，将真空腔体内的粉尘刮起，被工件表面吸附，造成工件镀膜不良，提高了良品率，节省了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 进气管 螺旋状 泄气管 真空腔 真空腔体 体内 出气口 本实用新型 真空镀膜机 引流 充气系统 顶部设置 高速气体 工件表面 均匀排列 气体冲击 形状结构 一端连接 真空填充 冲击性 良品率 体内部 缓冲 镀膜 吸附 填充 生产成本 粉尘 扩散 延伸 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜机的真空填充系统，其特征在于：包括真空腔体，所述真空腔体顶部设置有进气管，进气管一端用于充入空气，进气管另一端延伸至真空腔体内部，所述进气管另一端连接有螺旋状泄气管，该螺旋状泄气管上均匀排列有若干个出气口。/n
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