[实用新型]单晶炉籽晶软轴更换预紧装置有效
| 申请号： | 201920567199.4 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN210048877U | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张艳辉 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 32205 北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李妮 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置，包括定位预紧支架(1)，定位预紧支架的一侧上下对称设置有两组支撑轮(8)，另一侧上端与压紧轮架(3)顶端铰接，另一侧下端设置有活结螺栓(4)；压紧轮架上设置有一组位于两组支撑轮之间的压紧轮(2)，压紧轮和支撑轮的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴(10)的凹槽；活结螺栓的螺纹轴依次穿过压紧轮架底端的通孔和压紧螺母手轮(6)，压紧螺母手轮与活结螺栓螺纹配套连接。该装置可实现籽晶软轴在卷绕的过程中保持一定的预紧力，还能保证预紧力大小一致；另外，该装置能够适用不同直径的籽晶软轴，且不会对籽晶软轴表面造成划伤，延长籽晶软轴的使用寿命，提高晶体拉制过程的控制平稳性。 | ||
| 搜索关键词： | 软轴 籽晶 压紧轮 活结螺栓 支撑轮 压紧螺母 预紧力 两组 手轮 预紧 支架 上下对称设置 大小一致 顶端铰接 晶体拉制 使用寿命 预紧装置 单晶炉 螺纹轴 平稳性 上端 划伤 卷绕 螺纹 通孔 下端 穿过 配套 保证 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置，其特征在于：包括定位预紧支架(1)，定位预紧支架(1)的一侧上下对称设置有两组支撑轮(8)，另一侧的上端与压紧轮架(3)的顶端铰接，另一侧的下端设置有活结螺栓(4)；所述压紧轮架(3)上设置有一组压紧轮(2)，压紧轮(2)位于两组支撑轮(8)之间，压紧轮(2)和支撑轮(8)的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴(10)的凹槽；所述压紧轮架(3)的底端设有通孔，活结螺栓(4)的螺纹轴依次穿过压紧轮架(3)底端的通孔和压紧螺母手轮(6)，压紧螺母手轮(6)与活结螺栓(4)螺纹配套连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司，未经徐州晶睿半导体装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920567199.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：柴可拉斯基生长装置转换配件
- 下一篇：用于籽晶生长的夹持装置
