[实用新型]体声波谐振器有效
| 申请号： | 201920462832.3 | 申请日： | 2019-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN209787132U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李刚;吕萍;胡维 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 31294 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：衬底，表面具有各向同性刻蚀腔；位于所述衬底之上的具有开口的压电震荡堆层，所述开口与所述各向同性刻蚀腔连通，至少部分所述压电震荡堆层位于所述各向同性刻蚀腔之上。本实用新型的技术方案的体声波谐振器在衬底表面具有更大的腔体，以更有利于散热。 | ||
| 搜索关键词： | 各向同性刻蚀 体声波谐振器 本实用新型 衬底 堆层 压电 震荡 开口 声波谐振器 衬底表面 散热 腔体 种体 连通 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：/n衬底，表面具有各向同性刻蚀腔；/n位于所述衬底之上的具有开口的压电震荡堆层，所述开口与所述各向同性刻蚀腔连通，至少部分所述压电震荡堆层位于所述各向同性刻蚀腔之上。/n
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