[实用新型]一种真空磁控旋转双面镀膜夹具

摘要

本实用新型公开了一种真空磁控旋转双面镀膜夹具，包括步进电机磁控驱动装置及可旋转夹具装置；所述步进电机磁控驱动装置包括真空室腔体，固定在真空室腔体上的步进电机及其驱动装置，焊接在真空室腔体上的中空杆件。步进电机转轴上装有齿轮，齿轮与磁铁旋转套筒通过齿轮啮合方式连接。中空杆件与真空室腔体焊接在一起，中空杆件里面有柔性钢丝绳，柔性钢丝绳上端有呈圆周分布的磁铁，可以和磁铁旋转套筒相配合实现同步旋转。所述可旋转夹具部分包括样品夹具架，在样品夹具架的左右两边相应连接有左右样品夹具，左右样品夹具可以在样品架上移动，以适应各种尺寸的方形样品，左右样品夹具可以通过螺丝固定在样品架上。