[实用新型]一种空腔内设置缓冲支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件

摘要

本实用新型涉及无线通信射频前端器件技术领域，提供了一种空腔内设置缓冲支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件，该谐振器包括带空腔的绝缘体硅基片和压电三明治结构；压电三明治结构包括顶电极、压电薄膜层和底电极，顶电极、压电薄膜层和底电极依次堆叠，压电三明治结构置于绝缘体硅基片的空腔中，压电三明治结构与绝缘体硅基片通过键合层形成封闭空腔，空腔内包括多个缓冲支撑结构，缓冲支撑结构用于缓冲并支撑压电三明治结构，缓冲支撑结构包括依次连接的缓冲层、支撑层与连接层。上述薄膜体声波谐振器及通信器件通过在空腔内形成缓冲支撑结构，能够缓冲谐振器键合过程中产生的应力，避免器件产生断裂或损失，有效提高器件的性能与可靠性。