[实用新型]一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置

摘要

本实用新型公开了一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体、用于固定腔体上盖的压盖固定块、用于翻转腔体上盖的翻盖把手、用于连接腔体上盖翻转支架的连接块、样品载动台和样品载动支座。该装置解决了现有技术中的缺陷，能够有效调节激光头高度，适配多种不同聚焦高度和不同类型的激光头，同时能够优化光窗结构，扩大腔体内部空间，并且对探针切换机构进行改造，能够搭载多种具有不同扫描探测功能的探针。

主权项

1.一种广配激光头的聚焦高度可调的多探针扫描探测装置，其特征在于，包括：腔体上盖、激光头高度微调机构、石英玻璃、玻璃上压盖、用于连接电动转台的密封法兰、探针切换机构、用于发射激光并采集信号的激光头、用于放置样品的真空腔体和用于固定腔体上盖的压盖固定块，所述腔体上盖包括连接在真空腔体的上盖板和位于上盖板顶部的凸台，所述激光头高度微调机构包括至少一个激光头定位块、高度调节块、调节件和锁紧件，所述激光头定位块通过锁紧件固定于高度调节块顶部且将激光头卡住，所述高度调节块和上盖板设置有位置相对的螺纹孔，调节件通过螺纹孔将高度调节块和上盖板连接并通过转动对应螺钉调节高度调节块的高度；所述压盖固定块连接在上盖板的边缘处，所述石英玻璃通过玻璃上压盖压在腔体上盖的顶部，密封法兰连接在腔体上盖，探针切换机构置于腔体上盖底部设置的凹槽内。/n