[实用新型]一种组合靶件有效
| 申请号： | 201920385936.9 | 申请日： | 2019-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN210065896U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 钱铁威 | 申请（专利权）人： | 广东太微加速器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种组合靶件，包括靶柱和安装板，所述的安装板包含有两块，两块安装板上下间隔设置，靶柱设置在两块安装板之间，靶柱的上下两端分别与两块安装板连接，两块安装板之间连接有若干个靶柱，相邻的靶柱之间间隔设置；所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。 | ||
| 搜索关键词： | 安装板 靶柱 承载体 冷却液出口 冷却液进口 冷却腔体 安装柱 靶体 上下间隔设置 本实用新型 间隔设置 连通设置 上下两端 靶件 | ||
【主权项】：
1.一种组合靶件，其特征在于：包括靶柱和安装板，所述的安装板包含有两块，两块安装板上下间隔设置，靶柱设置在两块安装板之间，靶柱的上下两端分别与两块安装板连接，两块安装板之间连接有若干个靶柱，相邻的靶柱之间间隔设置；/n所述的靶柱包括管形的靶体、管形的承载体及安装柱，承载体套设在安装柱上，靶体套设在承载体上，所述的承载体的内部设有冷却腔体，所述的承载体上设有冷却液进口和冷却液出口，冷却液进口和冷却液出口分别与冷却腔体连通设置。/n
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