[实用新型]一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2

摘要

本实用新型属于一种生产含水量≤30ppb的电子级CO2的装置；包括原料气储罐、热泵和产品罐，原料气储罐依次通过净化塔和吸附塔与第一精馏塔的原料气进口相连，第一精馏塔顶部的气相出口通过干燥塔与第二精馏塔的原料气进口，第二精馏塔的底部液相出口通过产品泵与产品储罐相连；第一精馏塔底部的液相出口通过换热器的第一尾气进口、换热器的第一尾气出口和第一调节阀与废气炉相连；具有低能耗、操作简便、运行稳定、运行安全可靠、产品单位电耗低和能将产品中水分降低至30ppb以下，且纯度提高至99.99995％电子级别的特点。