[实用新型]一种基于金刚石材料基体的声表面波器件有效
| 申请号： | 201920352622.9 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN209562521U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 谢波玮;丁发柱;古宏伟;商红静;董泽斌;黄大兴;许文娟;苏广辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所;郑州科之诚机床工具有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;C23C16/30 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 程华 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于金刚石材料基体的声表面波器件。包括金刚石材料基体、图形化压电材料以及电极；所述金刚石材料基体用于声表面波的传输；所述图形化压电材料设置在所述金刚石材料基体上，所述图形化压电材料用于微波‑声波之间的转换；所述图形化压电材料的厚度为谐振体声波波长的1/2；所述电极设置在所述图形化压电材料上，所述电极用于微波的输入输出；相邻所述电极的极性相反。本实用新型利用金刚石材料为器件的主要声传播介质，进而实现非常低的器件损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石材料 压电材料 图形化 电极 声表面波器件 本实用新型 微波 声传播介质 电极设置 极性相反 器件损耗 声表面波 声波波长 声波 谐振体 传输 输出 转换 | ||
【主权项】：
1.一种基于金刚石材料基体的声表面波器件，其特征在于，包括金刚石材料基体、图形化压电材料以及电极；所述金刚石材料基体用于声表面波的传输；所述图形化压电材料设置在所述金刚石材料基体上，所述图形化压电材料用于微波‑声波之间的转换；所述图形化压电材料的厚度为谐振体声波波长的1/2；所述电极设置在所述图形化压电材料上，所述电极用于微波的输入输出；相邻所述电极的极性相反。
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