[实用新型]一种隔离装置及镀膜设备有效
| 申请号： | 201920286939.7 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN210215523U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 年志刚;余冲平;罗友菊;张贵土;徐铭俊;姚灿明;张权威 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 姜波 |
| 地址： | 517000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种隔离装置及镀膜设备。本实用新型提供的隔离装置，包括第一隔离板和第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板之间形成输送间隙，所述输送间隙包括：第一输送段和第二输送段，其中，所述第一输送段的间隙大于第二输送段的间隙，基材由第一输送段进入隔离装置时，不会被隔离装置划伤基材的镀膜面，同时第二输送段又能保证镀膜腔室内气压的稳定。本实用新型实施例还提供了一种使用该隔离装置的镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔离 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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