[实用新型]一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置有效
申请号: | 201920266255.0 | 申请日: | 2019-03-01 |
公开(公告)号: | CN209656573U | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 刘朝旭;贺鹏;肖志全 | 申请(专利权)人: | 武汉优光科技有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐瑛;祝蓉蓉<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,包括激光干涉仪,所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架,所述倾斜面上固设有反射镜,所述检测支架的上部固设有基片放置平台,所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具,所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小,所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合,所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠,利用待测基片的自身重力来放置固定基片,方便简洁,同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度,避免基片被刮花,且提高了检测效率。 | ||
搜索关键词: | 夹具 激光干涉仪 放置平台 入射光线 反射镜 支架 检测 光洁度 便携式检测装置 透镜 中心轴线重合 本实用新型 反射镜反射 基片接触面 可拆卸设置 钢珠 反射光线 固定基片 激光干涉 面型参数 平面镜 倾斜面 入射角 刮花 锐角 受力 承载 发射 | ||
【主权项】:
1.一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置,包括激光干涉仪,其特征在于,所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架,所述倾斜面上固设有反射镜,所述检测支架的上部固设有基片放置平台,所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具,所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小,所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合,所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉优光科技有限责任公司,未经武汉优光科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920266255.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种高精准镀层量测模块
- 下一篇:一种工厂智能化物料出入库用终检平台支架