[实用新型]一种基于法布里-珀罗原理的位移传感器有效
| 申请号： | 201920240302.4 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN209689555U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈昌林;唐锋 | 申请（专利权）人： | 江苏弘开传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 11270 北京派特恩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李梅香;张颖玲<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 215126 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开一种基于法布里‑珀罗原理的位移传感器，所述位移传感器包括：外壳、光纤、反光镜和位移折减结构；其中，所述光纤的端部为第一反射面，所述反光镜为第二反射面；所述位移传感器的探杆发生第一位移改变量时，所述位移折减结构将所述第一位移改变量折减成第二位移改变量并带动所述第二反射面发生第二位移改变量，所述第二位移改变量小于所述第一位移改变量且和所述第一位移改变量成线性关系，通过测量所述第一反射面和所述第二反射面之间的干涉腔长变化量，确定所述第二位移改变量，并基于所述第一位移改变量与所述第二位移改变量之间的关系确定所述第一位移改变量。 | ||
| 搜索关键词： | 改变量 反射面 位移传感器 反光镜 光纤 关系确定 线性关系 变化量 法布里 干涉腔 探杆 测量 申请 | ||
【主权项】：
1.一种基于法布里-珀罗原理的位移传感器，其特征在于，所述位移传感器包括：外壳、设置在所述外壳内部的基板、光纤、反光镜和位移折减结构；其中，/n所述光纤的端部为第一反射面，所述反光镜为第二反射面，所述第一反射面和所述第二反射面平行；所述光纤固定在所述基板上，所述第二反射面能够沿所述第二反射面的轴线方向移动，所述第二反射面的轴线方向与所述第一反射面的轴线方向平行；所述位移传感器的探杆发生第一位移改变量时，所述位移折减结构将所述第一位移改变量折减成第二位移改变量并带动所述第二反射面发生第二位移改变量，所述第二位移改变量小于所述第一位移改变量，通过测量所述第一反射面和所述第二反射面之间的干涉腔长变化量，确定所述第二位移改变量，并基于所述第一位移改变量与所述第二位移改变量之间的对应关系确定所述第一位移改变量。/n
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