[实用新型]旋转靶材的测试装置有效
| 申请号： | 201920233851.9 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN209858403U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 王云能;徐国军;阮华清;蔡爱玲 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04;G01N1/28;C23C14/35 |
| 代理公司： | 11584 北京智晨知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种旋转靶材测试装置，涉及靶材技术领域，可以真实有效地表征旋转靶材的薄弱区域，解决旋转靶材缺乏有效测试装置的问题。本公开的旋转靶材测试底座和固定装置，测试板和拉伸装置。所述固定装置用于将采用如下方法制得的试样固定到所述底座上：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管上形成涂层，所述衬管用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，截取预设长度的所述旋转靶材以获取待测试的试样，所述待测试的试样包括部分背衬管和位于该部分背衬管上的涂层。所述测试板用于粘贴在所述试样的外侧面涂层上。所述拉伸装置用于对所述测试板的一端施加使所述测试板与所述试样的涂层分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转靶材 测试板 背衬管 固定装置 拉伸装置 衬管 测试 薄弱区域 测试底座 测试试样 测试装置 有效测试 制备工艺 外侧面 粘结力 截取 靶材 底座 预设 粘贴 地表 施加 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶材测试装置，其特征在于，包括：/n底座和固定装置，所述固定装置用于将采用如下方法制得的试样(4)固定到所述底座上：根据所述旋转靶材的涂层的制备工艺在衬管(41)上形成涂层，所述衬管(41)用于模拟所述旋转靶材的背衬管，或者，/n截取预设长度的所述旋转靶材以获取待测试的试样(4)，所述待测试的试样(4)包括部分背衬管和位于该部分背衬管上的涂层；/n测试板(1)和拉伸装置，所述测试板(1)用于粘贴在所述试样(4)的外侧面涂层上；所述拉伸装置用于对所述测试板(1)的一端施加使所述测试板(1)与所述试样的涂层(42)分离的拉力，以测试试样涂层的粘结力强度。/n
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