[实用新型]一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置

摘要

本实用新型公开了一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，属于光学设备领域，其技术方案要点是，一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件，所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片，所述上固定板位于所述下固定板的上方；通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散，且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔，使得气流便于流动，提高设备性能，在透光块的一周固定连接有遮光板，在透光块透光时可有效防止激光扩散，降低激光的损耗，在透光块不透光时，可将激光进行有效的隔离，防止出现漏光的现象，进一步提升设备的稳定性及精度。

主权项

1.一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：包括固定组件(1)、移动光栅组件(2)和固定光栅组件(3)，所述固定组件(1)包括上固定板(11)、下固定板(12)、上散热片(13)和下散热片(14)，所述上固定板(11)位于所述下固定板(12)的上方，所述上固定板(11)的底面固定连接有所述上散热片(13)，所述下固定板(12)的顶面固定连接有所述下散热片(14)，所述移动光栅组件(2)包括移动光栅支板(21)、连接块(22)和移动光栅(23)，所述移动光栅支板(21)固定连接于所述上散热片(13)的底端，所述连接块(22)固定连接于所述移动光栅支板(21)的底面，所述移动光栅(23)固定连接于所述连接块(22)的底端，所述固定光栅组件(3)包括固定光栅(31)和透光块(32)，所述固定光栅(31)固定连接于所述下散热片(14)的顶面，所述固定光栅(31)的顶面固定连接有所述透光块(32)。