[实用新型]一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，涉及半导体技术领域，该光路微调装置利用三个方向的千分尺带动三个移动平台在三个方向移动，从而微调夹具夹持的光路组件至所需的位置对调制光源进行光学特性的调整，该光路微调装置无需借助外部工具就能方便准确的调节光路组件的位置，调试方便且精度高，有利于提高晶圆缺陷测试仪的检测成功率。

主权项

1.一种晶圆缺陷测试仪的光路微调装置，所述晶圆缺陷测试仪包括调制光源和待测的半导体晶片，其特征在于，所述光路微调装置包括：底座、X轴千分尺、Y轴千分尺、Z轴千分尺、至少两个弹簧、Y轴移动平台、X轴移动平台、载具台、夹具以及所述晶圆缺陷测试仪中的光路组件；所述底座的侧边开设有Z轴方向的导轨，所述底座上还固定有所述至少两个弹簧，所述至少两个弹簧均匀分布在所述底座上，所述Y轴移动平台设置在所述弹簧上并置于所述Z轴方向的导轨中，所述至少两个弹簧支撑所述Y轴移动平台，所述Z轴千分尺固定在所述底座上并沿着Z轴方向设置，所述Z轴千分尺的螺杆连接并带动所述Y轴移动平台沿着所述Z轴方向的导轨运动；所述Y轴移动平台的表面开设有Y轴方向的导轨，所述X轴移动平台设置在所述Y轴移动平台上并置于所述Y轴方向的导轨中，所述Y轴千分尺固定在所述Y轴移动平台的表面并沿着Y轴方向设置，所述Y轴千分尺的螺杆连接并带动所述X轴移动平台沿着所述Y轴方向的导轨运动；所述X轴移动平台的表面开设有X轴方向的导轨，所述载具台设置在所述X轴移动平台上并置于所述X轴方向的导轨中，所述X轴千分尺固定在所述X轴移动平台的表面并沿着X轴方向设置，所述X轴千分尺的螺杆连接并带动所述载具台沿着所述X轴方向的导轨运动；所述夹具固定在所述载具台的表面，所述夹具夹持所述晶圆缺陷测试仪中的光路组件，所述光路组件位于所述调制光源至待测的半导体晶片的光路上。