[实用新型]一种用于皮秒激光加工系统的切割头镜片结构有效
| 申请号： | 201920140888.7 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209356767U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 梁崇智;朱海波;鲍秀娟;黄少茹;张富源;黄永伟;林光仁 | 申请（专利权）人： | 广东华快光子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B19/00 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 何卓南 |
| 地址： | 528400 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于皮秒激光加工系统的切割头镜片结构，其通过锥透镜将准直输入的激光光束转化成能量分布均匀的贝塞尔光束，然后通过长焦会聚透镜和短焦非球面透镜进行对贝塞尔光束进行压缩，得到较小的光束直径，以实现较高的能量密度，其对玻璃等脆性材料产生一定深度的均匀作用，有利于提高切割效果和切割效率，有较好的断面。 | ||
| 搜索关键词： | 激光加工系统 镜片结构 切割头 本实用新型 非球面透镜 脆性材料 会聚透镜 激光光束 均匀作用 能量分布 切割效率 锥透镜 长焦 短焦 准直 切割 玻璃 压缩 转化 | ||
【主权项】：
1.一种用于皮秒激光加工系统的切割头镜片结构，其特征在于包括有依次直线设置焦距为正用于将准直输入的激光光束转化成能量分布均匀的贝塞尔光束的锥透镜(1)、焦距为正用于将经所述锥透镜(1)后的贝塞尔光束进行会聚以输出直径压缩光束的长焦会聚透镜(2)、以及焦距为正用于将经所述长焦会聚透镜(2)后的光进行再次压缩以输出会聚光束的短焦非球面透镜(3)，所述锥透镜(1)背向所述长焦会聚透镜(2)的端面为平面和面向所述长焦会聚透镜(2)的端面为锥面，所述长焦会聚透镜(2)面向所述锥透镜(1)的端面为平面和背向所述锥透镜(1)的端面为凸面，所述短焦非球面透镜(3)面向所述长焦会聚透镜(2)的端面为非球面和背向所述长焦会聚透镜(2)的端面为平面，其中，所述锥透镜(1)的锥角为α，所述长焦会聚透镜(2)的焦距为f1，所述短焦非球面透镜(3)的焦距为f2，所述锥透镜(1)与长焦会聚透镜(2)之间的距离为L1，所述长焦会聚透镜(2)与所述短焦非球面透镜(3)之间的距离为L2，所述f1、f2、L1、L2的单位都为mm，有175°≤α≤179°，L2＝f1+f2，0.03≤L1/L2≤0.5，4≤f2≤8，20≤f1/f2≤35。
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