[实用新型]激光整形反射镜及激光整形装置有效

专利信息
申请号: 201920134033.3 申请日: 2019-01-26
公开(公告)号: CN209590420U 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 秦应雄;李玫瑰;刘晓东;段光前;赵侠 申请(专利权)人: 江苏先河激光研究院有限公司;华中科技大学
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02B5/08
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 张涛
地址: 223800 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本实用新型涉及一种激光整形反射镜及激光整形装置,包括反射镜本体,所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型,反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。其能量利用率高,且本专利的激光整形反射镜或激光整形装置输出的环状光场分布经锥面聚焦可以输出的近似贝塞尔光束的中心光斑大小和光强基本不变,以利于进行激光微加工,尤其是对大深径比材料的激光微加工。
搜索关键词: 激光整形装置 反射镜本体 激光整形 反射镜 激光微加工 圆弧状凹面 场分布 反射面 菲涅尔 环状光 面型 锥面 本实用新型 能量利用率 输出 大深径比 激光光束 中心光斑 光强 入射 近似 聚焦
【主权项】:
1.一种激光整形反射镜,其特征在于:包括反射镜本体,所述反射镜本体的反射面为环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型,反射镜本体上呈环形的圆弧状凹面或与其等效的菲涅尔面型的反射面用于将入射的激光光束整形成环状光场分布。
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