[实用新型]一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统有效
申请号: | 201920096689.0 | 申请日: | 2019-01-21 |
公开(公告)号: | CN209507560U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 金向华;刘晶;王新喜;孙猛 | 申请(专利权)人: | 苏州金宏气体股份有限公司 |
主分类号: | B67C7/00 | 分类号: | B67C7/00;B67C3/22;B01J47/00;B08B9/093;B01F11/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮 |
地址: | 215152 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统,包括:钢瓶;与钢瓶相连通的高纯水储罐;与钢瓶相连通的废水罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂储罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂回收罐;与钢瓶相连通的高纯保护性气体储罐;与钢瓶相连通的超纯水储罐。与现有技术相比,本实用新型先通过高纯水清洗除去钢瓶中的颗粒,然后再通过离子交换树脂除去钢瓶内的金属离子与氯离子,使得离子含量小于0.1ppb,再通过超纯水清洗除去钢瓶中可能残留的颗粒,从而使钢瓶中的金属离子、水分和颗粒度均达到最佳水平,以适用于高纯正硅酸乙酯充装。 | ||
搜索关键词: | 钢瓶 储罐 硅酸乙酯 离子交换树脂 本实用新型 处理系统 金属离子 超纯水 高纯水 清洗 离子交换树脂回收 保护性气体 废水罐 颗粒度 氯离子 充装 高纯 离子 残留 | ||
【主权项】:
1.一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统,其特征在于,包括:钢瓶;与钢瓶相连通的高纯水储罐;与钢瓶相连通的废水罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂储罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂回收罐;与钢瓶相连通的高纯保护性气体储罐;与钢瓶相连通的超纯水储罐。
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