[实用新型]一种锡膏激光诱导前向转移设备

摘要

本实用新型一种锡膏激光诱导前向转移设备，该设备包括激光器、光束整形模块、光路调节模块、锡膏转移模块以及计算机控制系统，所述激光器与光束整形模块相连接，紧接着光路调节模块，而锡膏转移模块位于光路调节模块的下方。光束整形模块包括扩束透镜、光圈、平顶光束整形器以及空间光调制器。光路调节模块包括二维振镜和f‑θ透镜计。所述锡膏转移模块由透明基片、锡膏薄膜、夹具、Z轴升降台、接收基片、XYZ精密移动平台组成。计算机控制系统由计算机和其他设备的驱动器组成。本实用新型可以实现无需掩模、非接触式的高精度锡膏转移。能大大缩短生产周期，降低生产成本。

主权项

1.一种锡膏激光诱导前向转移设备，包括激光单元、计算机控制系统(14)，其特征在于：还包括锡膏转移模块；所述计算机控制系统(14)控制激光单元的激光束出射以及锡膏转移模块的运动；所述锡膏转移模块包括透明基片(8)、夹具(10)、Z轴升降台(11)、接收基片(12)、XYZ轴移动平台(13)；所述透明基片(8)的下表面为用于容纳锡膏薄膜(9)的凹面；所述接收基片(12)和Z轴升降台(11)放置在XYZ轴移动平台(13)上，以调整接收基片(12)与激光束光斑的相对工位；所述夹具(10)安装在Z轴升降台(11)上；透明基片(8)的凹面朝下，并平行置于接收基片(12)的上方，所述夹具(10)夹持透明基片(8)的边缘，由Z轴升降台(11)搭载其在接收基片(12)上方垂直升降运动，以调整透明基片(8)相对于接收基片(12)之间的距离。