[发明专利]悬翼结构具有角部的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911424760.4 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111130492B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张巍;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极具有形成悬翼结构的边界顶电极，所述悬翼结构具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以从所述悬翼结构的最外侧边缘朝向内侧倾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿与第一上沿，所述最外侧边缘构成所述第一下沿，所述角部的底侧沿谐振器的横向方向向外延伸。本发明还公开了一种具有该谐振器的滤波器及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 有角 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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