[发明专利]凹扁球面平面波前零位补偿检测光路快速调节方法及装置有效
申请号: | 201911419124.2 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111076675B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 马赫;王兴;赵恩才;马冬梅 | 申请(专利权)人: | 长光卫星技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G02B27/00 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 李恩庆 |
地址: | 130000 吉林省长*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提出一种凹扁球面平面波前零位补偿检测光路快速调节方法及装置,该方法通过使干涉仪平面窗口出射光束平行于测试基准平台;将平面波前补偿器一镜和平面波前补偿器二镜与干涉仪平面窗口的轴心对准;依据待检反射镜的光轴附近的观察屏上光束汇聚点P1,通过第三五维调整架调节待检反射镜的俯仰角度和倾斜角度,通过第三五维调整架调节待检反射镜的前后距离;依据待检反射镜的光轴附近的观察屏上光束汇聚点P2,通过第三五维调整架调节待检反射镜的升降和平移。解决了凹扁球形光学非球面的平面波前零位透镜补偿检测光路调节困难的问题,从光学原理上提出快速调节检测光路的方法及装置,提升检测效率,保证光学元部件加工的顺利开展。 | ||
搜索关键词: | 球面 平面波 零位 补偿 检测 快速 调节 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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